Alat utiskuje nanoskalne dizajne procesora na pločice

Kineska tvrtka Prinano Technology, proizvođač alata za nanoimprint, isporučila je svoj prvi sustav litografije s nanoimprint tehnologijom poluvodičke kvalitete kineskom kupcu koji je usmjeren na specijalizirane procesne tehnologije.

Umjesto korištenja tradicionalnih tehnika litografije temeljenih na svjetlosti, ova vrsta alata za izradu čipova 'utiskuje' dizajn čipa na pločicu pomoću kvarcnog kalupa u koji je utisnut dizajn sklopa, kao što možete vidjeti u ovom videu.

Prinanov stroj PL-SR prvi je alat za nanoimprint litografiju (NIL) i spreman je za korištenje u stvarnoj proizvodnji čipova nakon što prođe sva potrebna ispitivanja. Prinano je druga tvrtka u svijetu koja je isporučila pravi alat za nanoimprint litografiju kupcu nakon Canona.

PL-SR alat za litografiju s nanootiscima, postupnim ponavljanjem oblikuje pločice fizičkim utiskivanjem krutog kvarcnog kalupa s ugraviranim nanoskalnim dizajnom sklopova u tanki sloj tekućeg rezista nanesenog na površinu pločice. Umjesto korištenja svjetla i projekcijske optike poput fotolitografije, PL-SR izravno replicira značajke kalupa u punoj veličini.

Rezist nanosi pomoću visokopreciznog inkjet sustava koji dinamički prilagođava volumen kapljica za različite gustoće uzorka kako bi se osigurao tanki, ujednačeni preostali sloj (ispod 10 nm, s varijacijama manjim od 2 nm).

Tijekom rada, sustav poravnava kalup i pločicu s preciznošću vjerojatno manjom od 10 nm, ostvaruje potpuni kontakt bez vakuuma i sekvencijalno utiskuje svako polje, spajajući ih kako bi prekrili cijelu pločicu od 300 mm.

Prinano ne otkriva performanse prekrivanja svojih NIL alata, ali u njihovom dokumentu o alatu stoji da industrija zahtijeva točnost prekrivanja 'ispod 10 nm, pa čak i približavanje razini od 1 nm u budućnosti.